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  ニュース     2023/07/28 14:14

中国:半導体露光装置の上海微電子、年末にも28nm対応DUV出荷 会員限定

 半導体露光装置の中国最大手、上海微電子装備有限公司(SMEE)が今年末に、初の国産28ナノメートル(nm)対応の液浸式深紫外光(DUV)露光装置「SSA/800-10W」を出荷するとの観測が証券業界…

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