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  ニュース     2024/10/08 13:01

中国:EUV必要なし、シリコンフォトニクス技術開発で成果 会員限定

 湖北九峰山実験室(東湖高新技術開発区・湖北省武漢市)がシリコンフォトニクス技術で画期的な成果を収めた。シリコンフォトニクスは極端紫外線(EUV)露光装置を使用せずに高性能半導体の生産を可能にする技術…

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