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  ニュース     2025/03/12 13:52

中国独自のEUV露光装置、3Qに試験生産へ 会員限定

 中国は先進半導体の製造に必要な極端紫外線(EUV)露光装置の独自開発を推進し、今年第3四半期に試験生産が予定されている。黒竜江省ハルビンのイノベーションチームが放電プラズマ極紫外線の露光光源を開発し…

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