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  ニュース     2025/03/26 13:35

中国科学院がDUV光源技術を開発、3nm応用に曙光 会員限定

 中国科学院(CAS)が全固体深紫外光線(DUV)レーザー技術を開発し、193ナノメートル(nm)のコヒーレント光の放射に成功した。現在主流のDUV露光技術と同じ波長で、3nm半導体の生産に応用できる…

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