ニュース 2025/03/26 13:35
中国科学院がDUV光源技術を開発、3nm応用に曙光 
産業・企業
中国科学院(CAS)が全固体深紫外光線(DUV)レーザー技術を開発し、193ナノメートル(nm)のコヒーレント光の放射に成功した。現在主流のDUV露光技術と同じ波長で、3nm半導体の生産に応用できる…
記事をさらに読むにはログインして下さい。
この記事は購読ご契約済のお客様のみがご覧になれます。
ご契約済のお客様は、お手数ですがログインしてからご覧ください。
まだ契約されていない方は、以下から購読申し込みまたは無料トライアルをご利用ください。