ニュース 2023/03/15 12:42
中国:晶瑞電子材料、KrFフォトレジスト量産
産業・企業
化学品メーカーの晶瑞電子材料(クリスタル・クリア・エレクトロニック:300655/SZ)はこのほど、フッ化クリプトン(KrF)露光装置用フォトレジストの一部製品を既に量産していると報告した。上海群輝…
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