詳細
検索
期間
亜州リサーチFacebook公式ページ 亜州リサーチYoutube公式チャンネル

  ニュース     2022/11/21 12:06

中国:華為がEUV露光技術の特許取得、自社開発推進か 会員限定

 通信機器最大手の華為技術(ファーウェイ)は15日、新たな極端紫外線(EUV)露光技術の特許を公開した。「反射鏡、露光装置と制御方法」との特許で、固定干渉パターンの形成により均等な光線照射ができなくな…

会員限定 記事をさらに読むにはログインして下さい。

この記事は購読ご契約済のお客様のみがご覧になれます。
ご契約済のお客様は、お手数ですがログインしてからご覧ください。
まだ契約されていない方は、以下から購読申し込みまたは無料トライアルをご利用ください。

ログイン   購読申し込み (無料トライアル)

関連ニュース