ニュース 2022/11/21 12:06
中国：華為がEUV露光技術の特許取得、自社開発推進か 
産業・企業
通信機器最大手の華為技術（ファーウェイ）は15日、新たな極端紫外線（EUV）露光技術の特許を公開した。「反射鏡、露光装置と制御方法」との特許で、固定干渉パターンの形成により均等な光線照射ができなくな…
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