ニュース 2025/08/18 14:40
中国初の電子ビーム露光装置「羲之」、先進プロセス開発促進へ 
産業・企業
中国初の電子ビーム露光装置が先日、浙江省杭州市で公開された。浙江大学余杭量子研究院が開発し、書家の王羲之にちなんで「羲之」と名付けられる。現在応用テストの段階を迎え、近く顧客に納付される見通し。中国…
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