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  ニュース     2025/09/10 16:21 NEW!!

中国:盛美半導体の塗布・現像装置、KrF露光向け初納入 会員限定

 半導体製造装置大手の盛美半導体設備(上海)(ACMリサーチ・シャンハイ:688082/SH)が今月、KrF(フッ化クリプトン)露光工程向け塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)の新製品「Ultra…

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