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  ニュース     2021/06/18 18:59

中国:半導体製造装置AMEC、8インチCCPエッチング装置を初出荷 会員限定

 半導体製造装置大手の中微半導体設備上海(AMEC:688012/SH)はこのほど、デカップリング反応性イオンエッチング技術を採用した同社初の8インチウェーハ用容量結合型プラズマ方式(CCP)エッチン…

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