ニュース 2021/09/10 17:59
中国：先鋒半導体、5nmエッチング装置スプレー部品開発 
産業・企業
半導体装置用精密部品の靖江先鋒半導体科技（スプリント・プレシジョン・テクノロジーズ）はこのほど、5ナノメートル（nm）プロセスIC製造に使用するエッチング装置のスプレー部品を開発した。この部品を採用…
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