ニュース 2022/12/14 16:13
ACMリサーチ上海子会社が「プラズマCVD」開発、中国企業に1台目納入へ
産業・企業
盛美半導体設備(上海)股フン有限公司(ACMリサーチ・シャンハイ)は12日、半導体製造に用いる「プラズマCVD」(PECVD、プラズマ励起化学気相成膜)装置の生産事業に参入すると発表した。向こう数週…
記事をさらに読むにはログインして下さい。
この記事は購読ご契約済のお客様のみがご覧になれます。
ご契約済のお客様は、お手数ですがログインしてからご覧ください。
まだ契約されていない方は、以下から購読申し込みまたは無料トライアルをご利用ください。