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  ニュース     2022/12/14 16:13

ACMリサーチ上海子会社が「プラズマCVD」開発、中国企業に1台目納入へ 会員限定

 盛美半導体設備(上海)股フン有限公司(ACMリサーチ・シャンハイ)は12日、半導体製造に用いる「プラズマCVD」(PECVD、プラズマ励起化学気相成膜)装置の生産事業に参入すると発表した。向こう数週…

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