ニュース 2018/06/06 15:53
中国:「単結晶SiC」設備開発、6インチウエハ生産スタート
産業・企業
中国がハイエンド半導体(IC)デバイス原材料、炭化ケイ素(SiC)インゴットの少量生産に乗り出している。中国電子科技集団公司の第二研究所は、単結晶SiC成長装置を開発。工場ビル内に100台を設置した…
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