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  ニュース     2023/04/10 10:46

ASMLの2nm用光学測定装置、台湾でR&D推進へ 会員限定

 半導体設備欧州最大手の蘭ASMLはこのほど、台湾で2ナノメートル(nm)プロセス向けの光学式半導体ウエハー光学測定装置の研究開発(R&D)と製造を推進すると表明した。台湾のハイエンドプロセス…

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