中国（上海）自由貿易試験区（上海FTZ）に組み入れられた臨港新片区が半導体関連工場の誘致を進めている。半導体製造装置メーカー大手の中微半導体設備上海股フン有限公司（AMEC）は12日、臨港新片区の管理委員会と現地投資に関する覚書を交わしたと発表した。具体的な内容や金額は明らかにしていないものの、ハイエンド設備の研究・開発と製品化を展開する計画という。

　上海の半導体製造装置販売ランキングでは、AMECが業界首位。プラズマエッチング装置、有機金属気相成長法（MOCVD）装置の生産・販売を手がけている。線幅45〜7ナノメートルの微細加工工程に用いられた。2位の上海微電子装備集団股フン有限公司（SMEE）はステップ式リソグラフィ投影装置、3位のACMリサーチはSAPS・TEBO技術を応用した半導体洗浄装置、4位の上海凱世通半導体（870315/新三板）は半導体用イオン注入装置などをそれぞれ量産している。

　臨港新片区では2019年11月28日、半導体分野の現地プロジェクトで投資契約7件が同時に交わされた。これらプロジェクトの投資予算は150億人民元（約2360億円）を超える。

　臨港新片区はまた、「臨港新片区産業地図（1.0版）」を発表。先端産業、ハイエンドサービス、イノベーションなどの振興エリアを示した。

　半導体分野の主な投資計画は、ACMリサーチ（盛美半導体：ANMR/NASDAQ）の半導体製造設備工場・研究開発センター、昕原半導体（上海）有限公司による電圧の印加による電気抵抗の変化を利用した半導体記憶装置「ReRAM（抵抗変化型メモリ）」など。このほか東電電子（上海）有限公司、盛帷半導体設備（上海）有限公司、国信優易数据有限公司、上海上飛飛機装備製造有限公司、上海臨港諾瑪機電科技発展有限公司などが投資を決めた。


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